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ナノインプリント ニオケル リガタ モンダイ ノ ヒョウカ ト ソノ タイサク
ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策 / 谷口淳, 好野則夫, 坂井信支執筆
(Technology direction series)

データ種別	図書
出版者	東京 : リアライズ理工センター
出版年	2010.5
本文言語	日本語
大きさ	4, 2, 59p ; 30cm
著者標目	谷口, 淳 <タニグチ, ジュン>  好野, 則夫 <ヨシノ, ノリオ> 坂井, 信支 <サカイ, ノブジ>

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