ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
(How-nual図解入門)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 秀和システム |
出版年 | 2011.10 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 271p ; 21cm |
著者標目 | 佐藤, 淳一 (1954-) <サトウ, ジュンイチ> |
所蔵情報を非表示
巻 次 | 配架場所 | 請求記号 | 登録番号 | コメント | 刷 年 | 状 態 | 利用注記 | ISBN | 予約 | 請求メモ |
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射水-1階-和書 | 549.7||Sa85 | 101710564 |
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2011 |
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9784798030630 |
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