OPAC

フォトマスク : デンシブヒンセイゾウノキカンギジュツ
フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術 / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著

データ種別	図書
出版者	東京 : 東京電機大学出版局
出版年	2011.4
本文言語	日本語
大きさ	323p, 図版2枚 ; 21cm
著者標目	田辺, 功(1937-) <タナベ, イサオ> 竹花, 洋一 <タケハナ, ヨウイチ> 法元, 盛久 <ホウガ, モリヒサ>

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	549.7\|\|Ta83	101706513					9784501328207	予約		予約

別書名	標題紙タイトル:Photomask technology
一般注記	参考文献: 各章末
件　名	BSH:リソグラフィー
分　類	NDC8:549.7 NDC9:549.7
書誌ID	B000106717
ISBN	9784501328207
NCID	BB05599166