Mendeley出力
The physics of submicron lithography / Kamil A. Valiev
(Microdevices)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Plenum Press |
| 出版年 | c1992 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xi, 493 p. : ill. ; 26 cm |
| 著者標目 | *Valiev, Kamil′ Akhmetovich |
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| 巻 次 | 配架場所 | 請求記号 | 登録番号 | コメント | 刷 年 | 状 態 | 利用注記 | ISBN | 予約 | 請求メモ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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射水-1階-洋書 | 549.9||V23 | 101103877 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 件 名 | LCSH:Lithography, Electron beam LCSH:X-ray lithography LCSH:Ion beam lithography LCSH:Physics |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC20:621.381/531 |
| 書誌ID | B000087195 |
| ISBN | 0306435780 |
| NCID | BA1847061X |
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