Semiconductor fabrication : technology and metrology / Dinesh C. Gupta, editor
(ASTM special technical publication ; 990)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Philadelphia, PA : ASTM |
出版年 | c1989 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | 476 p. : ill. ; 24 cm |
著者標目 | Gupta, D. C. (Dinesh C.) Symposium on Semiconductor Processing (5th : 1988 : Santa Clara, Calif.) ASTM Committee F-1 on Electronics Semiconductor Equipment and Materials International |
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巻 次 | 配架場所 | 請求記号 | 登録番号 | コメント | 刷 年 | 状 態 | 利用注記 | ISBN | 予約 | 請求メモ |
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射水-1階-洋書 | 549.8||SE53 | 101138899 |
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一般注記 | Papers originally presented at the Fifth International Symposium on Semiconductor Processing, held at Santa Clara, Calif., on Feb. 1-5, 1988, sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics and Semiconductor Equipment & Materials International Includes bibliographies and indexes "ASTM publication code number (PCN) 04-990000-46"--T.p. verso |
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件 名 | LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7871.85 DC20:621.381/52 |
書誌ID | B000086990 |
ISBN | 0803112734 |
NCID | BA07637305 |
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