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Ion implantation / Heiner Ryssel and Ingolf Ruge

データ種別 図書
出版者 Chichester [West Sussex] : New York : Wiley
出版年 c1986
本文言語 英語
大きさ xvii, 459 p. : ill. ; 24 cm
著者標目 *Ryssel, Heiner, 1941-
Ruge, Ingolf

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射水-1階-洋書 549.8||R97 100697325



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別書名 原タイトル:Ionenimplantation
一般注記 Translation of: Ionenimplantation
Includes index
件 名 LCSH:Ion implantation
LCSH:Semiconductors
分 類 LCC:TK7871.85
DC19:621.3815/2
書誌ID B000086980
ISBN 047110311X
NCID BA00364146

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