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Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications / edited by William B. Glendinning, John N. Helbert
(Materials science and process technology series)

データ種別	図書
出版者	Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications
出版年	c1991
本文言語	英語
大きさ	xxii, 649 p. : ill. ; 25 cm
著者標目	Glendinning, William B. Helbert, John N.

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.7\|\|H29	101110567						予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography
分　類	LCC:TK7874 DC20:621.381/531
書誌ID	B000086855
ISBN	0815512813
NCID	BA19304842