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Ion implantation techniques : lectures given at the Ion Implantation School, in connection with the Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982 / editors, H. Ryssel and H. Glawischnig
(Springer series in electrophysics ; v. 10)

データ種別	図書
出版者	Berlin : New York : Springer-Verlag
出版年	1982
本文言語	英語
大きさ	xii, 372 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	*Ion Implantation School Ryssel, Heiner, 1941- Glawischnig, H. (Hans), 1939- International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.08\|\|SP8\|\|10	101166593						予約		予約

一般注記	Includes bibliographies and index
件　名	LCSH:Ion implantation -- Addresses, essays, lectures 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor doping -- Addresses, essays, lectures 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2
書誌ID	B000086731
ISBN	0387118780
NCID	BA07160406