OPAC

ニュウモンシンクウハクマクスパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳

データ種別	図書
出版者	東京 : 技報堂出版
出版年	1985.10
本文言語	日本語
大きさ	2,2,3,145p ; 22cm
著者標目	Stuart, R. V. 著毛利, 衛 <モウリ, マモル> 数坂, 昭夫(1940-) <カズサカ, アキオ>

別書名	原タイトル:Vacuum technology, thin films, and sputtering 異なりアクセスタイトル:真空・薄幕・スパッタリング : 入門
件　名	NDLSH:真空工学 NDLSH:薄膜
分　類	NDC8:534.93 NDLC:NB126
書誌ID	B000069188
ISBN	4765503585
NCID	BN00148324