OPAC

Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23, 1985, San Diego, California / Kevin M. Monahan, chairman/editor : cooperating organizations, Optical Sciences Center/University of Arizona, Institute of Optics/University of Rochester
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 565)

データ種別	図書
出版者	Bellingham, Wash., USA : SPIE--International Society for Optical Engineering
出版年	1985
本文言語	英語
大きさ	vi, 223 p. : ill. ; 28 cm
著者標目	Monahan, Kevin M. University of Arizona. Optical Sciences Center University of Rochester. Institute of Optics Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

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件　名	LCSH:Integrated circuits -- Measurement -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Integrated circuits -- Testing -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7874 DC19:621.381/73
書誌ID	B000057254
ISBN	0892526009
NCID	BA24008190