OPAC

Advanced lithography
(IOP short meetings series)

データ種別	図書
出版者	Bristol : IOP Pub.
出版年	c1988
本文言語	英語
大きさ	92 p. : ill. ; 30 cm
著者標目	Institute of Physics. Electronics Group

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.7\|\|A16	101110682						予約		予約

一般注記	***遡及データをもとにした流用入力である
件　名	PRECIS:Electronic equipment. Integrated circuits. Lithography
分　類	DC19:621.381/73
書誌ID	B000055795
ISBN	0854985093
NCID	BA36495747