CVD ハンドブック
CVDハンドブック / 化学工学会編集
データ種別 |
図書 |
出版者 |
東京 : 朝倉書店 |
出版年 |
1991.6 |
本文言語 |
日本語 |
大きさ |
x, 800, 18p ; 22 cm |
著者標目
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化学工学会 <カガク コウガッカイ>
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一般注記 |
付表および索引: p[781]-800 |
件 名 |
NDLSH:薄膜
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分 類 |
NDC6:566.7 NDC8:571
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書誌ID |
B000046859 |
ISBN |
425425234X |
NCID |
BN06399804
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