OPAC

Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8)

データ種別	図書
出版者	New York : Orlando : Academic Press
出版年	1984
本文言語	英語
大きさ	xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Einspruch, Norman G. Brown, Dale M.

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
V.8	射水-1階-洋書	501.3\|\|V84\|\|8	100793934						予約		予約

一般注記	Includes bibliographies and index
件　名	LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration 全ての件名で検索 LCSH:Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7874 DC19:621.381/73
書誌ID	B000036085
ISBN	0122341082
NCID	BA00536241