ハヤカワ, シゲル
早川, 茂
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| 著者の属性 | 個人 |
|---|---|
| 一般注記 | 工学博士 松下電器株式会社専務取締役技術本部長, (株)イオン工学センター社長 EDSRC:薄膜技術の新潮流 : 多彩な新規応用をカバー / 平尾孝〔ほか〕共著(工業調査会, 1997.7) EDSRC:イオン工学技術の基礎と応用 / 平尾孝 [ほか] 共著(工業調査会, 1992.4) |
| コード類 | 典拠ID=AU00049903 NCID=DA00469253 |
| 1 | 薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著 第2版. - 東京 : 共立出版 , 1992.9 |
| 2 | スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著 東京 : 共立出版 , 1988.6 |